【华拓泵业有限公司】（高真空齿轮泵，高吸程齿轮泵，无油真空泵）

一、无油真空泵概述

　　清洁的真空环境一直是科学家和企业界追求的理想真空环境。自能够创造真空环境开始，人们就试图采用不同手段达到清洁真空的效果。时至今日，清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、柱赛泵、爪式泵、泵以及隔膜泵等多种产品。在现有的无油真空泵当中，无油真空泵与其他种类的无油真空泵相比具有运行平稳、噪音低、节省能源、重量轻、体积小的特点并已经被广泛应用到下述科学研究与生产领域：①半导体行业——薄膜制备设备、半导体器件封装设备；②真空冶金行业——真空炉、纳米材料制备设备、真空检测设备；③科学仪器行业——同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器；④医疗设备——牙科仪器、透析机；⑤生物制品行业——材料提纯、药品制备；⑥包装行业——食品、药品、生物制品等包装设备。

　　无油真空泵工作原理、技术指标以及与普通油泵的对比无油真空泵的盘就是一个一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成一个型盘状结构。一个静盘与一个动盘组成的一对盘付构成了无油真空的基本抽气机构。例如在双级无油真空泵中，有两个方向对应的固定盘，一个位于两个盘之间的转动盘。动、静盘相对运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成排气循环。众所周知，无油真空泵与普通油真空泵相比具有显著的特点。

二、无油真空泵的优点及其能给用户解决的问题

　　无油真空泵性能优越真空泵的主要优点是间隙晓、泄漏少，具有较高的压缩比，在较宽的陋力范围内有稳定的抽速，工作压力范围宽；由于压缩腔容积的变化市连续的，因而驱动扭矩变化小，功率变化小，振动噪声低，可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。

　　无油真空泵解决了污染与振动等基础、共性问题由于普通旋片油泵的漏油、噪声、返油污染、高能耗以及振动等问题给用户造成不良影响，如生物制品行业与半导体行业的油蒸汽污染与工艺系统返油阀题。真空镀膜设备的镀膜工艺中，在20~40Pa真空条件下镀膜时，如果应用普通旋片机械真空泵作为前级真空泵将对镀膜工艺设备造成污染，影响成膜量。半导体晶片制造工艺当中使用油泵与使用干泵相比，成品率存在509l左奋涸的差距，并且排出的油雾蒸汽对环境也有污染。科学仪器行业尤其是在分析试仪器行业，采用油泵对测试结果将造成不良影响。大型同步辐射光束线上采涸用无油真空泵作为前级真空泵的作用也相当明显。另外无油真空泵消酒除了普通油泵的漏油给用户带来的环境污染与烦恼。

　　无油真空泵使系统制造与运行成本降低为防止普通旋片油真空泵对真空系统的返油污染，需要在抽气系统中加冷阱捕获油分子；系统运行过程当中还需要定期清洗除油；有的需要定期更换真空泵油。采用无油真空泵第一不需要加冷阱之类捕油机构、第二不需要换真空泵油、第三振动更小、运行更平稳、第四能耗降低、第五重量更轻、第六突破了油泵使用范围的限制，上述优点使无油真空泵成为普通旋片油真空泵的更新换代产品。

三、无油真空泵的现状与发展

　　国内以半导体、电子工业为代表的制造工艺当中和科学研究与分析测试行业迫切需要无油污染的清洁真空环境，但是清洁真空获得设备如冷凝泵、柱奏泵、爪式泵、泵以及隔膜泵等目前都没有形成可靠先进的批量国产产品。进口无油真空泵作为一种在中国正式投放市场不超过3年的新产品，由于本文前述的价格、市场的开拓和用户的认识程度等原因，没有形成良性循环。这样，一方面是迫切的市场需求，另一方面从价格与技术双方面看没有合适产品，造成了极大的市场缺口。

　　毫无疑问价格适中、性能可靠的无油真空泵将成为适合中国市场要求产品的主流，大力发展无旋无油真空泵势在必行。研制符合中国市场要求的类及其它无油真空泵系列产品及其检测技术手段也成为中国真空获得行业进一步发展的一个契机。为解决我国科学研究和新材料、半导体等行业发展面临的技术手段存在的基础、共性问题，近年来已经不断有业内专家向国内介绍无油真空泵技术及其发展现状，国外无油真空泵生产厂家与代理对中国市场的开发使其在中国市场的销量在逐年增长。国内真空行业相关企业也开展了基础、应用研究及小规模试制无油真空泵生产等不同阶段的探索，只是由于技术基础、激励机制、研发手段、资金投入的限制，研发工作进展不是非常快。

　　产品质量、稳定可靠性、以及技术推广与市场开拓规划、原则、手段等也是问题。因此无油真空泵系列产品下一步产业化技术研发与市场开发是企业必须解决的两大问题。随着研发手段、资金投入、市场开拓问题的解决，无油真空泵将会打开市场，从而提高整个真空获得行业的技术水平。成功的无油真空泵系列产品研发与市场开发模式也将为我国其他清洁真空获得设备如冷凝泵、样寨磊、爪式覆以殛隔膜泵等提供有效的借鉴。